توضیحات محصولات
قلب تولید اتاق تمیز،پمپ های خلاء نیمه هادیبرای برآوردن الزامات بسیار سختگیرانه ساخت میکروالکترونیک با دقت-مهندسی شده اند. این پمپها برای ارائه یک محیط خلاء کاملاً تمیز، پایدار و بدون لرزش- طراحی شدهاند که برای فرآیندهایی که حتی آلودگی میکروسکوپی میتواند منجر به خرابی فاجعهبار محصول شود، کاملاً حیاتی است.محصولبه طور جهانی از طرحهای مقاوم در برابر-روغن و خوردگی{1} استفاده کنید، که اغلب از مواد تخصصی استفاده میکنند که میتوانند در برابر گازهای فرآیند تهاجمی مقاومت کنند. آنها به سطوح خلاء بالا لازم، معمولاً تا 0.001 پاسکال، با نرخ جریان قابل تنظیم دست می یابند و طوری طراحی شده اند که پروفایل های ارتعاش بسیار کم را برای جلوگیری از آسیب به نانوساختارهای ظریف نشان دهند.
فلسفه طراحی مدولار آنها امکان ادغام مستقیم در مجموعه ابزارهای پیچیده را فراهم می کند و سرویس دهی آسان تر را تسهیل می کند، که برای به حداقل رساندن زمان خرابی ابزار پرهزینه بسیار مهم است. کاربرد اولیه ازپمپ های خلاء نیمه هادیهمانطور که از نام آن پیداست، در صنعت نیمه هادی ها، جایی که تقریباً در هر مرحله از تولید تراشه، از اچینگ و رسوب گذاری گرفته تا کاشت یون و لیتوگرافی، استفاده می شود. آنها همچنین در زمینه های مرتبط مانند بسته بندی الکترونیکی و تولید سلول های فتوولتائیک حیاتی هستند. فراتر از الکترونیک، این پمپ ها در ماشین آلات لاستیک و پلاستیک برای پردازش مواد نیمه هادی با درجه خلوص بالا- استفاده می شوند. در بسته بندی مواد غذایی، آنها به توسعه بسته بندی های تخصصی برای قطعات الکترونیکی حساس کمک می کنند. در سیستم های پوشش خلاء اختصاصی،محصولبرای انجام فرآیندهای پوشش نیمه هادی{0}}که خلوص و قابلیت اطمینان نهایی را می طلبند ضروری هستند. زمانی که موفقیت فرآیند شما به خلاء بی عیب و نقص و تزلزل ناپذیر بستگی دارد،پمپ های خلاء نیمه هادیراه حل قطعی و قابل اعتماد هستند.
|
پارامترهای اساسی |
نوع شماره |
||||
|
DLT.LG180 |
DLT.LG360 |
DLT.LG630 |
DLT.LG800 |
DLT.LG1100 |
|
|
سرعت پمپاژ، m3/h |
143 |
354 |
625 |
780 |
994 |
|
فشار نهایی، Pa |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
|
سرعت چرخش، r/min |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
|
نویز Lp، dB(A) |
82 |
83 |
83 |
84 |
85 |
|
حداکثر مصرف آب، L/min |
8 |
15 |
25 |
35 |
45 |
|
قطر ورودی، میلی متر |
50 |
50 |
65 |
100 |
100 |
|
قطر درگاه اگزوز، میلی متر |
40 |
40 |
50 |
80 |
80 |
|
قدرت موتور، کیلووات |
4 |
7.5 |
15 |
18.5 |
22 |
|
وزن سر پمپ، کیلوگرم |
245 |
350 |
550 |
630 |
780 |
تگ های محبوب: پمپ های خلاء نیمه هادی، تولید کنندگان پمپ های خلاء نیمه هادی چین، تامین کنندگان، کارخانه
